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双极脉冲磁控溅射电源适用于中频孪生靶磁控溅射金属和非金属导电材料，特别适合于反应磁控溅射镀制ITO膜、介质膜、绝缘保护膜等。本电源能增加离化率，减小电荷积累引起的异常放电，预防靶表面中毒现象。电源输出波形为正负脉冲交替循环。
品名 双极脉冲磁控电源（中频电源）
型号 MSB系列
输入 相数 三相+N
电压 380V
频率 50Hz
输入方式 4线（含零线）
输出 波形 正负对称脉冲
功率 10KW~100KW（可定制）
电压 0—1200V（可定制）
稳定度 ≤1%
电流 0—100A（可定制）
稳定度 ≤1%
纹波及杂讯 ≤2%
效率 ≥90%
控制 控制方式 标准方式：恒压/高低压切换
可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换
控制接口
标准方式：面板手动
可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus)
保护 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
冷却 风冷或水冷
外型 防护等级 IP21
单元尺寸
(W*D*H) 箱体：440(W)X260(H)X580(D) （30KW水冷）
面板：482(W)X280(H)
重量 30KG（30KW）
备注
